性能特点:
石墨热场系统的作用是指为了熔化硅料,并使单晶生长保持在一定温度下进行的整个系统。
石墨热场一般包括(石墨材料)压环、保温盖、上中下保温罩、石墨坩埚(三瓣埚)、坩埚托杆、坩埚托盘、电极、加热器、导流筒、石墨螺栓,且为了防止漏硅,炉底、金属电极、托杆、都设置了保护板、保护套。
性能特点:
石墨热场系统的作用是指为了熔化硅料,并使单晶生长保持在一定温度下进行的整个系统。
石墨热场一般包括(石墨材料)压环、保温盖、上中下保温罩、石墨坩埚(三瓣埚)、坩埚托杆、坩埚托盘、电极、加热器、导流筒、石墨螺栓,且为了防止漏硅,炉底、金属电极、托杆、都设置了保护板、保护套。
石墨热场是用来拉单晶硅的整套石墨加热系统。最常见的是18寸的石墨热场。热场是真空电阻炉的核心部分,它的好坏直接影响到炉子的性能及其运营成本。大多数真空电阻炉的石墨热场主要包括四个主要部分:加热器以及连接部件、隔热部件(或者反射屏)、热场支撑部件、工件承载陆床。热场的主要有方形和圆形之分。
如果您对产品有任何疑问,请填写以下表格,我们将尽快与您联系